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省配线、小巧紧凑的薄型电空减压半导体、精密领域的各种按压控制、微速气缸控制。行业
采用基于半导体压力传感器与电子控制回路的反馈控制，可通过电气信号连续且高精度地控制空气压力的电空减压阀。行业传感器
可从0kPa开始高精度地进行以往未能实现的50kPa以下比例控制的电空减压阀。行业
是小型、高性能电空减压阀，配备有压力显示、错误显示功能、直接记忆功能等方便的功能。行业半导体制造工序（后工序）特殊用途、搬送
是采用基于半导体压力传感器与电子控制回路的反馈控制，实现高精度、高响应的电空减压阀。行业
本品是30mm宽的小型、轻量、高性能电空减压半导体、精密贴装领域的先导减压阀的控制、各种按压控制、微速气缸控制。行业半导体制造工序（后工序）
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